ส่วนประกอบหลักของเครื่องฟอกอากาศ HEPA

HEPA (อนุภาคประสิทธิภาพสูง)ไส้กรองอากาศ).สหรัฐอเมริกาก่อตั้งกลุ่มพัฒนาเฉพาะทางขึ้นในปี พ.ศ. 2485 และพัฒนาวัสดุผสมซึ่งประกอบด้วยเส้นใยไม้ แร่ใยหิน และฝ้ายประสิทธิภาพการกรองสูงถึง 99.96% ซึ่งเป็นรูปแบบตัวอ่อนของ HEPA ในปัจจุบันต่อมาได้มีการพัฒนาและประยุกต์ใช้กระดาษกรองไฮบริดใยแก้วในเทคโนโลยีอะตอมในที่สุดก็พบว่าวัสดุมีประสิทธิภาพในการดักจับอนุภาคขนาด 0.3μm มากกว่า 99.97% และได้ชื่อว่าเป็นตัวกรอง HEPAในเวลานั้นวัสดุกรองทำจากเซลลูโลส แต่วัสดุมีปัญหาเรื่องการทนไฟและการดูดความชื้นต่ำในช่วงเวลานั้น แร่ใยหินยังถูกใช้เป็นวัสดุกรอง แต่จะทำให้เกิดสารก่อมะเร็ง ดังนั้นวัสดุกรองของตัวกรองประสิทธิภาพสูงในปัจจุบันจึงใช้ใยแก้วเป็นหลัก

ULPA (ตัวกรองอากาศทะลุทะลวงต่ำเป็นพิเศษ)ด้วยการพัฒนาวงจรรวมขนาดพิเศษ ผู้คนได้พัฒนาตัวกรองประสิทธิภาพสูงพิเศษสำหรับอนุภาค 0.1μm (แหล่งฝุ่นยังคงเป็น DOP) และประสิทธิภาพการกรองสูงถึงมากกว่า 99.99995%ได้รับการตั้งชื่อว่าตัวกรอง ULPAเมื่อเปรียบเทียบกับ HEPA แล้ว ULPA มีโครงสร้างที่กะทัดรัดกว่าและมีประสิทธิภาพในการกรองสูงกว่าULPA ส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ในขณะนี้ และไม่มีรายงานการใช้งานในภาคเภสัชกรรมและการแพทย์.