เนื้อหาของคลีนรูม (โรงงาน) และสิ่งอำนวยความสะดวกที่เกี่ยวข้อง

การก่อสร้างและการใช้งานของทำความสะอาดห้องควรลดการนำเข้าภายในอาคาร การเกิดขึ้นและการกักเก็บอนุภาค เช่น การนำเข้าอนุภาคไม่มากหรือน้อย การเกิดขึ้นของอนุภาคไม่หรือน้อย การกักเก็บอนุภาคไม่หรือน้อย เป็นต้น

ตามความต้องการในการผลิตผลิตภัณฑ์พารามิเตอร์ชอบอุณหภูมิ, ความชื้นคุณและ ความดัน ควรได้รับการควบคุมตามความต้องการของการผลิตผลิตภัณฑ์ การกระจายอากาศ ความเร็วลม เสียง การสั่นสะเทือน ไฟฟ้าสถิต ฯลฯ ในห้องสะอาดก็จำเป็นต้องได้รับการควบคุมเช่นกันดังนั้น ห้องคลีนรูม (โรงงาน) และสิ่งอำนวยความสะดวกที่เกี่ยวข้องสามารถแบ่งออกคร่าวๆ ได้เป็น 8 ประเภท ดังนี้

(1) อุปกรณ์ฟอกอากาศ (อุปกรณ์ทำความเย็นหน่วยเครื่องปรับอากาศ, กรอง,ฝักบัวลม, ทำความสะอาดโต๊ะ);

(2) ระบบห้องคลีนรูม (พื้น/พื้น, ฝ้าเพดาน /FFU, ผนังเหล็ก, ประตู,หน้าต่างถ่ายโอน/หน้าต่างสังเกตการณ์, โคมไฟ);

(3) ระบบจ่ายสื่อกลางกระบวนการ (รวมถึงอุปกรณ์) (น้ำบริสุทธิ์ ก๊าซบริสุทธิ์ ก๊าซพิเศษ สารเคมี)

(4) การควบคุมการสั่นสะเทือนระดับไมโครและการป้องกันไฟฟ้าสถิต

(5) ระบบเสื้อผ้าที่สะอาด อุปกรณ์ในห้องสะอาด (โต๊ะ เก้าอี้ ตู้ ชั้นวาง เครื่องดูดฝุ่น) วัสดุสิ้นเปลืองของห้องสะอาด

(6) เครื่องมือทดสอบ

(7) สิ่งอำนวยความสะดวกการคุ้มครองสิ่งแวดล้อม (ระบบบำบัดก๊าซเสีย, ระบบบำบัดน้ำเสีย)

(8)Dอุปกรณ์เฉพาะ (อุปกรณ์แยกทางชีวภาพ สภาพแวดล้อมจุลภาค)

ข้อกำหนดการควบคุมสภาพแวดล้อมการผลิตในการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ไม่เพียง แต่มีข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับความสะอาดของอากาศในห้องเท่านั้น แต่ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับเนื้อหาสิ่งเจือปนในความบริสุทธิ์ของสื่อที่มีความบริสุทธิ์สูงทุกชนิดเมื่อสัมผัสโดยตรงกับ กระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ เช่น น้ำบริสุทธิ์สูง ก๊าซความบริสุทธิ์สูง สารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง ฯลฯ ผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์บางชนิดยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นสำหรับการสั่นสะเทือน ไฟฟ้าสถิต การรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้า แหล่งจ่ายไฟ ฯลฯ