เครื่องมือทดสอบที่ใช้กันทั่วไปสำหรับห้องคลีนรูม

1. เครื่องทดสอบความสว่าง: หลักการของเครื่องวัดความสว่างแบบพกพาที่ใช้กันทั่วไปคือการใช้องค์ประกอบที่ไวต่อแสงเป็นหัววัด ซึ่งสร้างกระแสเมื่อมีแสงยิ่งแสงแรงขึ้นเท่าใด กระแสก็จะยิ่งมากขึ้นเท่านั้น และความส่องสว่างก็สามารถวัดได้เมื่อวัดกระแส
2. เครื่องทดสอบเสียงรบกวน: หลักการของเครื่องทดสอบเสียงรบกวนคือการใช้ไมโครโฟนคอนเดนเซอร์เพื่อเปลี่ยนพลังงานเสียงเป็นพลังงานไฟฟ้า จากนั้นผ่านกระบวนการที่ร้ายแรงของเครื่องขยายเสียง เครื่องตรวจจับ และในที่สุดก็ได้รับแรงดันเสียง

3. เครื่องทดสอบความชื้น: ตามหลักการ เครื่องทดสอบความชื้นสามารถแบ่งออกเป็นเทอร์โมมิเตอร์กระเปาะแห้งและเปียก เครื่องวัดอุณหภูมิผม เครื่องวัดอุณหภูมิไฟฟ้า ฯลฯ
4. เครื่องทดสอบปริมาตรอากาศ: โดยทั่วไปจะใช้วิธีท่ออากาศเพื่อทดสอบปริมาตรอากาศทั้งหมดในทำความสะอาดห้อง.โดยทั่วไปจะใช้วิธี Tuyere เพื่อทดสอบปริมาตรอากาศที่ส่งกลับไปยังแต่ละห้องหลักการคือความเร็วลมเฉลี่ยคูณด้วยพื้นที่หน้าตัด
5. เครื่องวัดอุณหภูมิ: ที่รู้จักกันทั่วไปว่าเป็นเทอร์โมมิเตอร์ ตามหลักการของการกระทำสามารถแบ่งออกเป็นเทอร์โมมิเตอร์ขยายตัว เทอร์โมมิเตอร์วัดความดัน เทอร์โมคัปเปิลเทอร์โมคัปเปิล และเครื่องวัดอุณหภูมิความต้านทาน
ก.เทอร์โมมิเตอร์ขยายตัว: แบ่งออกเป็นเทอร์โมมิเตอร์ชนิดขยายตัวแข็งและเทอร์โมมิเตอร์ชนิดขยายตัวของเหลว
ข.เทอร์โมมิเตอร์วัดความดัน: สามารถแบ่งออกเป็นเทอร์โมมิเตอร์ชนิดแรงดันพองและเทอร์โมมิเตอร์ชนิดแรงดันไอน้ำ
ค.เทอร์โมคัปเปิลเทอร์โมคัปเปิล: สร้างขึ้นตามหลักการของเอฟเฟกต์เทอร์โมอิเล็กทริก เมื่ออุณหภูมิของโหนดโลหะที่แตกต่างกันสองอันแตกต่างกันก็จะมีแรงเคลื่อนไฟฟ้าเช่นตามอุณหภูมิที่ทราบและแรงเคลื่อนไฟฟ้าที่วัดได้ของจุดหนึ่ง เราก็สามารถคำนวณอุณหภูมิของจุดอื่นได้
ง.เทอร์โมมิเตอร์วัดความต้านทาน: ขึ้นอยู่กับความต้านทานของโลหะบางชนิดและโลหะผสมหรือเซมิคอนดักเตอร์จะเปลี่ยนไปตามอุณหภูมิ อุณหภูมิจะถูกวัดอุณหภูมิโดยการวัดความต้านทานอย่างแม่นยำ
ข้อดีของเทอร์โมมิเตอร์แบบต้านทานคือ: ความแม่นยำและความไวสูง การตอบสนองที่รวดเร็วช่วงการวัดอุณหภูมิกว้างไม่จำเป็นต้องชดเชยจุดเชื่อมต่อเย็นสามารถใช้วัดอุณหภูมิระยะไกลได้
6.
ก.เครื่องมือตรวจจับอนุภาคฝุ่น: ปัจจุบันการตรวจจับของความสะอาดของห้องสะอาดส่วนใหญ่ใช้เครื่องนับอนุภาคฝุ่นแบบกระจายแสง ซึ่งแบ่งออกเป็นเครื่องนับอนุภาคฝุ่นแสงสีขาวและเครื่องนับอนุภาคฝุ่นแบบเลเซอร์
ข. เครื่องมือตรวจจับอนุภาคทางชีวภาพ: ปัจจุบันวิธีการตรวจจับส่วนใหญ่ใช้วิธีการเลี้ยงเชื้อและวิธีการกรองเมมเบรน
อุปกรณ์ที่ใช้แบ่งออกเป็นเครื่องเก็บตัวอย่างแบคทีเรียแพลงก์ตอนและเครื่องเก็บตัวอย่างแบคทีเรียตกตะกอน