ห้องคลีนรูมของโรงงานผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

นอกจากการควบคุมอนุภาคอย่างเข้มงวดแล้ววิศวกรรมอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ทำความสะอาดห้องนำเสนอโดยเวิร์กช็อปการผลิตคลิป ห้องคลีนรูมวงจรรวม และเวิร์กช็อปการผลิตดิสก์ ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นสำหรับการควบคุมอุณหภูมิและความชื้น การส่องสว่าง (แม้แต่ข้อกำหนดของแหล่งกำเนิดแสง) และการสั่นสะเทือนระดับไมโคร เพื่อลดผลกระทบของไฟฟ้าที่เข้มงวดในการผลิตผลิตภัณฑ์ เพื่อให้สภาพแวดล้อมเป็นไปตามข้อกำหนดกระบวนการผลิตของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

ที่อุณหภูมิและความชื้นของห้องคลีนรูมควรกำหนดตามความต้องการของกระบวนการผลิตเมื่อกระบวนการผลิตไม่มีข้อกำหนดเฉพาะ อุณหภูมิอาจอยู่ที่ 20~26℃และความชื้นสัมพัทธ์สามารถ 30% ~ 70%อุณหภูมิของห้องฟอกบุคลากรและห้องนั่งเล่นสามารถอยู่ที่ 16~28℃.ตามมาตรฐานแห่งชาติจีน GB-50073 ซึ่งสอดคล้องกับเครื่องหมาย ISO สากล ระดับความสะอาดของห้องคลีนรูมประเภทนี้คือ 1-9 โดยที่ 1-5 รูปแบบการไหลของอากาศเป็นแบบไหลทิศทางเดียวหรือไหลแบบผสม และ ความเร็วลม 0.2- 0.45 เมตร/วินาทีรูปแบบการไหลเวียนอากาศ 6 ขั้น เป็นแบบไหลไม่ทิศทางเดียว ความถี่การแลกเปลี่ยนอากาศ 50-60 ครั้ง/ชม.รูปแบบการไหลเวียนอากาศ 7 ระดับไม่ใช่ทิศทางเดียว ความถี่ในการแลกเปลี่ยนอากาศ 15-25 ครั้ง/ชม.8-9 รูปแบบการไหลของกระแสลมขั้นเป็นแบบไหลแบบไม่ทิศทางเดียว และความถี่การแลกเปลี่ยนอากาศคือ 10-15 ครั้ง/ชม.

ตามข้อบังคับปัจจุบัน ระดับเสียง (สถานะว่างเปล่า) ในห้องสะอาดระดับ 10,000 ของโรงงานผลิตอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรเกิน 65dB(A)

1. อัตราส่วนความสมบูรณ์ของห้องคลีนรูมการไหลในแนวตั้งของห้องคลีนรูมของโรงงานผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 60% และห้องคลีนรูมการไหลทิศทางเดียวในแนวนอนไม่ควรน้อยกว่า 40% มิฉะนั้นจะเป็นการไหลในทิศทางเดียวบางส่วน

2. เดอะความดันสถิตความแตกต่างระหว่างห้องคลีนรูมและด้านนอกของโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 10Pa และความแตกต่างของแรงดันสถิตระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ที่ไม่สะอาดที่มีความสะอาดของอากาศที่แตกต่างกันไม่ควรน้อยกว่า 5Pa

3. ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ในห้องสะอาดคลาส 10,000 ในอุตสาหกรรมการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ควรใช้สูงสุดจากสองรายการต่อไปนี้

4. Tเขารวมปริมาณอากาศเสียภายในอาคาร, และปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่ต้องการเพื่อรักษาค่าแรงดันบวกในตัวcชดเชยไอออนห้อง.

5. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าปริมาณอากาศบริสุทธิ์ต่อคนต่อชั่วโมงในห้องสะอาดไม่น้อยกว่า 40 ตารางเมตร