ในห้องสะอาดสำหรับการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์และยา มักใช้หรือสร้างสารที่เป็นกรดและด่าง ตัวทำละลายอินทรีย์ ก๊าซทั่วไป และก๊าซพิเศษต่างๆ ในกระบวนการผลิตในยาภูมิแพ้ สเตียรอยด์บางชนิด ในกระบวนการผลิตยาออร์แกนิก ยาออกฤทธิ์สูงและเป็นพิษ สารอันตรายที่เกี่ยวข้องจะถูกระบายออกหรือรั่วไหลเข้าไปในห้องปลอดเชื้อดังนั้นอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตหรือขั้นตอนที่อาจปล่อยสารอันตราย ก๊าซ หรือฝุ่นต่างๆ ออกมาในห้องคลีนรูมสำหรับการผลิตผลิตภัณฑ์ดังกล่าว ตั้งค่าอุปกรณ์ดูดควันเฉพาะที่หรืออุปกรณ์ดูดควันเต็มห้องตามประเภทของก๊าซเสียที่ปล่อยออกมาในระหว่างกระบวนการผลิต อุปกรณ์ไอเสีย (ระบบ) สามารถแบ่งคร่าวๆ ได้เป็นประเภทดังต่อไปนี้
(1) ระบบไอเสียทั่วไป
(2) ระบบไอเสียก๊าซอินทรีย์
(3) ระบบไอเสียก๊าซกรด
(4) ระบบไอเสียก๊าซอัลคาไลน์
(5) ระบบไอเสียก๊าซร้อน
(6) ระบบไอเสียที่มีฝุ่น
(7) ระบบไอเสียก๊าซพิเศษ
(๘) ระบบไอเสียที่เป็นอันตรายและเป็นพิษในการผลิตยา