ระบบน้ำหล่อเย็น
ระบบน้ำหล่อเย็นสำหรับกระบวนการประกอบด้วยส่วนต่างๆ ดังต่อไปนี้: ชิลเลอร์ ปั๊ม เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน ถังเก็บน้ำ ตัวกรอง และอุปกรณ์ในกระบวนการ
เครื่องทำน้ำเย็น: จัดหาแหล่งความเย็นสำหรับระบบน้ำหล่อเย็น
ปั้มน้ำ: เพิ่มแรงดันน้ำเพื่อให้แน่ใจว่าน้ำไหลเวียนในระบบทำความเย็น
เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน: ใช้อุปกรณ์นี้เพื่อแลกเปลี่ยนความร้อนระหว่างระบบน้ำเย็นและระบบน้ำเย็นเพื่อถ่ายเทความร้อนที่เกิดขึ้นที่ปลายโหลดของระบบไปยังระบบน้ำเย็นเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนมีหลายประเภท ซึ่งสามารถแบ่งออกเป็นประเภทเปลือกและท่อ, ประเภทแผ่น, ประเภทแผ่นครีบ, ประเภทท่อความร้อน ฯลฯ ตามรูปแบบในการเปรียบเทียบ แผ่นแลกเปลี่ยนความร้อนมีข้อดีคือมีขนาดเล็กและพื้นที่ถ่ายเทความร้อนขนาดใหญ่เมื่อพิจารณาถึงลักษณะต้นทุนของพื้นที่และพื้นที่ของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ที่มีขนาดเล็กเป็นที่ต้องการเพื่อประหยัดพื้นที่และต้นทุนด้านวิศวกรรม
ถังเก็บน้ำ: ถังเก็บน้ำในระบบเปิดส่วนใหญ่มีบทบาทในการเสริมแหล่งน้ำถังเก็บน้ำในระบบปิดต้องเลือกถังเก็บน้ำแบบขยายถังเก็บน้ำขยายมีสามฟังก์ชั่นประการหนึ่งคือการกักเก็บและชดเชยการขยายตัวและการหดตัวของน้ำในระบบอีกประการหนึ่งคือการสร้างแรงดันที่มั่นคงให้กับระบบน้ำหมุนเวียนแบบปิดและมีบทบาทในการรักษาเสถียรภาพของระบบประการที่สามเป็นการบ่งชี้ปั๊มน้ำของระบบโดยปกติถังขยายจะส่งสัญญาณเพื่อเริ่มหรือปิดปั๊มน้ำของระบบ
ตัวกรอง: กรองอนุภาคของแข็งออกมีระบบที่ค่อนข้างอิสระสองระบบในระบบน้ำหล่อเย็นของกระบวนการ น้ำเย็นและน้ำหล่อเย็นเครื่องทำความเย็นจัดหาน้ำเย็นและน้ำเย็นและน้ำหล่อเย็นจะแลกเปลี่ยนความร้อนเพื่อทำให้น้ำหล่อเย็นเย็นลงและลดอุณหภูมิของอุปกรณ์น้ำจะถูกสูบจากอุปกรณ์การผลิตผ่านปั๊มน้ำไปยังเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของน้ำหล่อเย็นในกระบวนการโดยการควบคุมปริมาณน้ำเย็นแล้วส่งไปยังอุปกรณ์สายการผลิตหลังจากผ่านตัวกรองแล้วกลับสู่ ปั๊มน้ำกระบวนการสร้างน้ำหล่อเย็นจะไหลเวียนซ้ำๆน้ำเย็นจะถูกส่งกลับไปยังเครื่องทำความเย็นโดยตรง
