ระดับความสะอาดของอากาศ(N) | ขีดจำกัดความเข้มข้นสูงสุดของอนุภาคที่มากกว่าหรือเท่ากับขนาดอนุภาคที่ทำเครื่องหมายไว้ (จำนวนอนุภาคอากาศ/m3) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO คลาส 1 | 10 | 2 | ||||
ISO คลาส 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO คลาส 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISOคลาส4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO คลาส 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO คลาส 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO คลาส 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO คลาส 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO คลาส 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
พีซีเอส/M≥0.5um | ไอเอสโอ 14644-1(1999) | US 209E(1992) | US 209D(1988) | อีอีซี ซีจีเอ็มพี (1989) | ฝรั่งเศส อัฟนอร์(1981) | เยอรมนี วีดีไอ 2083(1990) | ญี่ปุ่น เจเอโอเอ(1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1,000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3,530 | 5 | M3.5 | 100 | เอ+บี | 4,000 | 3 | 5 |
10,000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35,300 | 6 | M4.5 | 1,000 | 1,000 | - | 4 | 6 |
100,000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353,000 | 7 | M5.5 | 10,000 | C | 400,000 | 5 | 7 |
1,000,000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3,530,000 | 8 | M6.5 | 100,000 | D | 4,000,000 | 6 | 8 |
10,000,000 | - | M7 | - | - | - | - | - |