1. ควรทดสอบความสะอาดของอากาศในห้องคลีนรูมดังนี้
(1) สถานะว่างเปล่า การทดสอบแบบสถิต
การทดสอบสถานะว่างเปล่า: ห้องสะอาดเสร็จสมบูรณ์ ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์อยู่ในการทำงานปกติ และการทดสอบดำเนินการโดยไม่มีอุปกรณ์กระบวนการและบุคลากรฝ่ายผลิตอยู่ในห้อง
การทดสอบแบบสถิต: ระบบปรับอากาศบริสุทธิ์ของห้องสะอาดอยู่ในการทำงานปกติ มีการติดตั้งอุปกรณ์กระบวนการ และดำเนินการทดสอบโดยไม่มีบุคลากรฝ่ายผลิตอยู่ในห้อง
(สอง) การทดสอบแบบไดนามิก
ห้องสะอาดได้รับการทดสอบภายใต้สภาวะการผลิตปกติ
การตรวจจับปริมาตรอากาศ ความเร็วลม ความดันบวก อุณหภูมิ ความชื้น และเสียงในห้องคลีนรูมสามารถทำได้ตามกฎข้อบังคับที่เกี่ยวข้องของการใช้งานทั่วไปและการปรับอากาศ
ตารางระดับความสะอาดของอากาศในห้องสะอาด (พื้นที่)
ระดับความสะอาด | จำนวนอนุภาคฝุ่นสูงสุดที่อนุญาต/m3≥0.5μmจำนวนอนุภาคฝุ่น | ≥5μmจำนวนอนุภาคฝุ่น | จำนวนจุลินทรีย์สูงสุดที่อนุญาต แบคทีเรียแพลงก์โทนิก/ลบ.ม | ตกตะกอนแบคทีเรีย/จาน |
100ระดับ | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000ระดับ | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000ระดับ | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000ระดับ | 10,500,000 | 60,000 | 1,000 | 15 |